MLCC
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Usage
FPD 기판 세정용
Etching 공정 이후 필름제거 및 기판세정용
Specification
설비구성 : 불림대, Loader, Rinsing Zone, Air Knife, Unloader
대응기판 크기 : 유저요청사양
반송 TACT : 유저요청사양
프로그램 구성 : PLC 및 PC제어
Option
Air Knife 부 : Single, Dual, Hot Air 선택가능
Rinsing부 Water Jet, CO₂ Bubbler
세정수 순환수 사용운용, 신액사용운용 선택가능
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