MLCC

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Usage

FPD 기판 세정용

Etching 공정 이후 필름제거 및 기판세정용

Specification

설비구성 : 불림대, Loader, Rinsing Zone, Air Knife, Unloader

대응기판 크기 : 유저요청사양

반송 TACT : 유저요청사양

프로그램 구성 : PLC 및 PC제어

Option

Air Knife 부 : Single, Dual, Hot Air 선택가능

Rinsing부 Water Jet, CO₂ Bubbler

세정수 순환수 사용운용, 신액사용운용 선택가능

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세정기, Delamination 세정기, 불림대, SP세정기, Water Jet