FPD / 반도체 설비

  ● FPD 기판 세정용

  ●  Etching공정 이후 필름제거 및 기판세정용

  ● 설비구성 : 불림대, Loader, Rinsing Zone, Air Knife, Unloader

  ● 대응기판 크기 : 유저요청사양

  ● 반송 TACT : 유저요청사양

  ● 프로그램 구성 : PLC 및 PC제어

  ● Air Knife 부 : Single, Dual, Hot Air 선택가능

  ● Rinsing부 Water Jet, CO₂ Bubbler

  ● 세정수 순환수 사용운용, 신액사용운용 선택가능

  ● 세정기, Delamination 세정기, 불림대, SP세정기, Water Jet