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회사소개서

세정기

세정기




USAGE / 용도


  ● FPD 기판 세정용

  ●  Etching공정 이후 필름제거 및 기판세정용








SPECIFICATION / 사양


  ● 설비구성 : 불림대, Loader, Rinsing Zone, Air Knife, Unloader

  ● 대응기판 크기 : 유저요청사양

  ● 반송 TACT : 유저요청사양

  ● 프로그램 구성 : PLC 및 PC제어




OPTION / 부가기능


  ● Air Knife 부 : Single, Dual, Hot Air 선택가능

  ● Rinsing부 Water Jet, CO Bubbler

  ● 세정수 순환수 사용운용, 신액사용운용 선택가능




Related Query / 연관검색어


  ● 세정기, Delamination 세정기, 불림대, SP세정기, Water Jet